實(shí)驗(yàn)室在進(jìn)行精密實(shí)驗(yàn)或測(cè)量時(shí)，環(huán)境振動(dòng)源的影響很容易成為一個(gè)問題。一些實(shí)驗(yàn)可能由于輕微振動(dòng)的影響而無(wú)法進(jìn)行。例如，許多激光應(yīng)用需要幾微米的光束腰；如果光斑的位置對(duì)系統(tǒng)性能十分關(guān)鍵，那么幾微米振幅的振動(dòng)也會(huì)造成實(shí)驗(yàn)的失敗。由于可見光的波長(zhǎng)為次微米級(jí)，在振動(dòng)存在的情況下，即使是次微米的振幅，也會(huì)造成基于干涉測(cè)量的實(shí)驗(yàn)(包括全息攝影術(shù))無(wú)法進(jìn)行。半導(dǎo)體晶片的光學(xué)/機(jī)械加工或探測(cè)都要求類似的穩(wěn)定性。除了外部振動(dòng)源的影響以外，如果實(shí)驗(yàn)用到位移或振動(dòng)部件，也常常需要把這些元件和其他振動(dòng)敏感的部件進(jìn)行隔離。
高精密主動(dòng)減震平臺(tái)就是為了解決這一問題產(chǎn)生的，它采用主動(dòng)或被動(dòng)的隔振措施隔離振動(dòng)，提供水平、穩(wěn)定的臺(tái)面。保證實(shí)驗(yàn)或測(cè)量不受振動(dòng)因素。
為了達(dá)到理想的效果，減震平臺(tái)必須滿足幾個(gè)條件。首先，它必須有一個(gè)剛性臺(tái)面，能夠長(zhǎng)期穩(wěn)定地固定實(shí)驗(yàn)儀器。其次，它沒有固有共振，而且能夠有效地抑制由實(shí)驗(yàn)中電機(jī)或移動(dòng)部分產(chǎn)生的任何振動(dòng)，并能夠隔離環(huán)境振動(dòng)對(duì)實(shí)驗(yàn)裝置的影響。
下面我們來說說選購(gòu)高精密主動(dòng)減震平臺(tái)的幾個(gè)注意事項(xiàng)
1、隨著眾多研究機(jī)構(gòu)對(duì)高減震平臺(tái)質(zhì)量要求的不斷提高和廠商對(duì)產(chǎn)品的不斷完善，目前所研制出來的主動(dòng)減震平臺(tái)款型繁多，質(zhì)量也參差不齊，所以在購(gòu)買高精密主動(dòng)減震平臺(tái)前，首先要對(duì)企業(yè)做一定的了解。其次是減震平臺(tái)的材料、加工精度、隔振效果、產(chǎn)品整體的合理性，平臺(tái)表面是否精細(xì)、表面處理的工藝性等。
2、不能過于看重產(chǎn)品一兩項(xiàng)參數(shù)，應(yīng)該對(duì)減震平臺(tái)的整體進(jìn)行了解，并進(jìn)行一定檢驗(yàn)。例如高精密主動(dòng)減震平臺(tái)中的重要參數(shù)如平面度、平臺(tái)不平度、固有頻率、振幅、工作壓力和zui大負(fù)載等參數(shù)都要有個(gè)詳細(xì)的了解并對(duì)其進(jìn)行檢測(cè)。這樣才可以根據(jù)一些重要參數(shù)來選擇自己想要購(gòu)買的高精密主動(dòng)減震平臺(tái)。
3、在購(gòu)買高精密主動(dòng)減震平臺(tái)的時(shí)候，要多對(duì)比價(jià)格，做到“心中有數(shù)”。需對(duì)照各企業(yè)產(chǎn)品把握一個(gè)尺度，并不是越便宜越好，需選擇一款符合需求，性價(jià)比高的減震平臺(tái)才是關(guān)鍵。
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